51–59 УДК 620.187.3:546.26-162 ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ КРИСТАЛЛИТОВ В УГЛЕРОДНЫХ НАНОСТОЛБИКАХ, ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ © 2017 г. Я. С. Гришина*, Н. И. Боргардт, Р. Л. Волков, Д. Г. Громов, С. В. Дубков Национальный исследовательский университет МИЭТ, 124498 Москва, Россия *E-mail: lemi@miee.ru Поступила в редакцию 21.03.2016 г. Методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографического анализа исследовались углеродные кристаллиты в отдельно расположенных, вертикально ориентированных наностолбиках, выращенных на поверхности подложки плазмостимулированным химическим осаждением без использования катализатора. <...> Тонкие фольги планарного сечения приготавливались из средней части массива наностолбиков с применением фокусированного ионного пучка. <...> Установлено, что находящиеся в аморфном окружении кристаллиты образованы фрагментами базисных плоскостей (002), они не имеют четко выраженных границ, а их размеры в основном составляют 1–2 нм. <...> Показано, что после отжига при температурах 250 и 700°С постепенно увеличивается доля кристаллитов в общем объеме материала наностолбиков, а среднее расстояние между базисными плоскостями уменьшается. <...> Ключевые слова: искусственные углеродные материалы, плазмостимулированное химическое осаждение, углеродные кристаллиты, просвечивающая электронная микроскопия. <...> Одним из таких широко применяемых методов является химическое осаждение из газовой фазы [3–5], где для синтеза материалов используются углеводороды, например, метан, монооксид углерода и другие углеродосодержащие молекулы. <...> Разновидностью этого метода является плазмостимулированное осаждение [6–8], позволяющее формировать углеродные наноматериалы на подложке при относительно низкой температуре: от комнатной и до нескольких сотен градусов. <...> Методом химического осаждения из газовой фазы при определенных условиях на поверхности подложки могут создаваться <...>