40–46 УДК 537.226 МИКРОСТРУКТУРА, ФАЗОВЫЙ АНАЛИЗ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ОТКЛИК ПЛЕНОК Pb(Zr,Ti)O3 В ОБЛАСТИ МОРФОТРОПНОЙ ФАЗОВОЙ ГРАНИЦЫ © 2017 г. В. <...> А.Ф. Иоффе РАН, 194021 Санкт-Петербург, Россия *E-mail: SenkevichSV@mail.ioffe.ru Поступила в редакцию 10.03.2016 г. Методом дифракции отраженных электронов и исследованием температурных зависимостей диэлектрической проницаемости проведен анализ фазового состояния тонких пленок цирконата-титаната свинца в области морфотропной фазовой границы, сформированных по двухстадийной технологии. <...> Показано, что в зависимости от давления рабочего газа и температуры термообработки изменяется соотношение объемов моноклинной и тетрагональной модификаций сегнетоэлектрической фазы, сосуществующих при комнатной температуре. <...> Ключевые слова: тонкие пленки, цирконат-титанат свинца, дифракция отраженных электронов, морфотропная фазовая граница, моноклинная фаза. <...> DOI: 10.7868/S0207352817020123 ВВЕДЕНИЕ Сегнетоэлектрические тонкие пленки цирконата-титаната свинца Pb(Zr1 – xTix)O3 (PZT) являются базовыми материалами для микроэлектромеханических приложений – микроактюаторов, акустических сенсоров, ИК-датчиков, магнетоэлектрических преобразователей [1, 2]. <...> Аномально высокие диэлектрические и электромеханические свойства твердых растворов PZT проявляются в области морфотропной фазовой границы (МФГ) при “х” ≈ 0.50, разделяющей ромбоэдрическую (Rh) и тетрагональную (T) модификации сегнетоэлектрической фазы [3]. <...> В последнее время получила широкое распространение версия, в соответствии с которой экстремальные физические свойства PZT обусловлены присутствием в области МФГ моноклинной (M) фазы, располагающейся между Rh- и T-фазами [4, 5]. <...> Фазовый анализ твердых растворов с использованием синхротронного рентгеновского излучения показал, что область существования М-фазы устойчиво идентифицируется при низких температурах в области концентраций “x” ≈ 0.46–0.52, а с ростом температуры, из-за наклонного характера МФГ сужается. <...> 1 <...>