23–27 УДК 538.971 ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОПОКРЫТИЙ TiN/WN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ © 2017 г. В. <...> Касаткин3 1Объединенный институт ядерных исследований, 141980 Дубна, Московская область, Россия 2Институт электроники Болгарской академии наук, 1784 София, Болгария 3Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия *E-mail: bodnarch@nf.jinr.ru Поступила в редакцию 11.05.2016 г. Изучаются тонкие пленки нитрида титана TiN и нитрида вольфрама WN с толщиной слоев 6 нм, полученые методом магнетронного напыления на поверхность кремниевой подложки. <...> Представлены результаты исследования их структурных и механических свойств. <...> DOI: 10.7868/S0207352817020044 ВВЕДЕНИЕ Актуальной проблемой современных исследований в области материаловедения и физики конденсированного состояния является изучение тонкопленочных покрытий, обладающих высокой твердостью, прочностью, износо- и коррозиестойкостью. <...> Перспективными материалами для создания пленочных покрытий являются нитриды титана и вольфрама. <...> В настоящей работе с помощью многократного последовательного нанесения тонких нанослоев нитрида титана TiN и нитрида вольфрама WN толщиной 6 нм получены многослойные покрытия на инструментальной стали Р18 (Болгарский государственный стандарт БДС EN0027-1) и на кремниевой подложке. <...> Представлены результаты исследования их структурных и механических свойств. <...> ЭКСПЕРИМЕНТ Для улучшения адгезии многослойных покрытий к материалу инструмента в качестве первого слоя наносили покрытие из чистого хрома. <...> Тон23 кие слои Cr, TiN и WN наносили с помощью магнетронного распыления при постоянном токе в вакуумной установке “Титан 22” (Институт электроники, София, Болгария) с использованием вращающейся магнетронной системы. <...> Диаметр всех трех катодов составлял 100 мм, а их толщины, соответственно, 6 (Cr), 5 (Ti) и 1 мм (W). <...> Во время создания многослойных покрытий образцы находились на подогреваемом столе диаметром 165 мм. <...> В режиме низкого <...>