292–299 НОВЫЕ РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ И ЭЛЕМЕНТЫ УДК 681.586'36.534.414 УСТРОЙСТВА НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ ДЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ ТЕМПЕРАТУРЫ © 2017 г. Р. Г. Крышталь, А. П. Кундин, А. В. Медведь* Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. <...> 300°C измерены температурные зависимости центральной частоты и вносимых потерь линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ) со звукопроводом из лангасита и двухвходового резонатора на ПАВ со звукопроводом из “черного” ниобата лития, имеющие центральные частоты при комнатной температуре ~342 и ~427 МГц соответственно. <...> Рассмотрены возможности применения таких устройств на ПАВ в качестве чувствительных элементов датчиков температуры в диапазоне до 300°C с частотным форматом выходного сигнала. <...> Предложена и экспериментально продемонстрирована методика применения резонаторов на ПАВ со звукопроводом из “черного” ниобата лития для мониторинга малых изменений температуры объекта с чувствительностью 0.001°C. <...> DOI: 10.7868/S0033849417030135 ВВЕДЕНИЕ Линии задержки и резонаторы на поверхностных акустических волнах (ПАВ) на протяжении многих лет применяют в качестве чувствительных элементов (ЧЭ) целого ряда современных химических датчиков и датчиков различных физических величин, в частности температуры [1, 2]. <...> Принцип действия ЧЭ датчиков на ПАВ основан на чрезвычайной чувствительности ПАВ к состоянию поверхности кристалла (звукопровода), вдоль которой распространяется волна. <...> Адсорбированные молекулы того или иного вещества на пути распространения ПАВ (в химических, газовых датчиках) изменяют состояние поверхности, что приводит к изменению скорости распространения и затухания ПАВ и, следовательно, к изменению амплитуды, фазы ПАВ, т.е. к сдвигу амплитудно- и фазочастотных характеристик (АЧХ и ФЧХ) устройства. <...> Принцип действия ЧЭ датчиков температуры основан на естественной зависимости от температуры параметров материала звукопровода <...>