70–74 НАНОЭЛЕКТРОНИКА УДК 539.2(023) МАГНИТООПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОТОЛЩИННЫХ ПЛЕНОК МАГНИТНЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ © 2017 г. Д. <...> 9 3Научно-исследовательский институт электроники университета Эдит Кован, Австралийский Союз, Джоондалуп, Джоондалуп драйв, 6027 *E-mail: kotov.slava@gmail.com Поступила в редакцию 22.12.2014 г. Предложена и реализована оригинальная конструкция компенсационной магнитной системы, позволяющая, установив в измерительном приборе одновременно пленку на парамагнитной подложке и исходную парамагнитную подложку, измерять разностный сигнал, обеспечивая полную компенсацию вклада парамагнитной подложки. <...> DOI: 10.7868/S003384941701003X ВВЕДЕНИЕ Современные задачи наноэлектроники требуют проведения измерений параметров магнитных пленок толщиной от 1 до 100 нм. <...> Измерение эффекта Фарадея и его изменения под влиянием внешнего магнитного поля позволяют определять с высокой точностью такие параметры частично-прозрачных магнитных пленок, как толщина, поле насыщения материала в плоскостном магнитном поле и в поле ортогональном ее поверхности, температура Кюри, поле одноосной магнитной анизотропии. <...> В пленках, полученных методами импульсного лазерного осаждения материала или магнетронным распылением мишени первоначально в аморфном состоянии, с помощью измерения эффекта Фарадея можно контролировать ход процесса кристаллизации пленок феррит-гранатов в реальном времени при использовании лазерных источников света. <...> Однако при переходе к нанотолщинным пленкам феррит-гранатов или феррит-шпинелей, изготовленным на парамагнитных подложках, возникают серьезные осложнения. <...> При проведении измерений установлено, что эффект Фарадея в таких пленках в магнитных полях с напряженно70 , К. <...> Аламех2 стью поля на уровне 1 кЭ и более оказывается меньше, чем парамагнитное вращение подложки. <...> В частности, подложка из гадолиний-галлиевого граната толщиной 450 мкм вращает плоскость поляризации излучения длиной волны λ = 633 нм <...>