1 Оптимизация структурных и ростовых параметров метаморфных InGaAs-фотопреобразователей, полученных методом МОС-гидридной эпитаксии © Д.В. Рыбальченко, С.А. Минтаиров, Р.А. Салий, Н.Х. Тимошина, М.З. Шварц, Н.А. Калюжный¶ Физико-технический институт им. <...> А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ¶ E-mail: nickk@mail.ioffe.ru Получена 20 апреля 2016 г. Принята к печати 26 апреля 2016 г. Методом МОС-гидридной эпитаксии созданы метаморфные Ga0.76In0.24As-гетероструктуры фотопреобразователей на подложках n-GaAs. <...> Обнаружено, что из-за разрыва валентных зон на гетерогранице p-In0.24Al0.76As/p-In0.24Ga0.76As (широкозонное окно/эмиттер) возникает потенциальный барьер для дырок вследствие технологической сложности создания высокой концентрации активной примеси в широкозонном материале. <...> Использование четверного твердого раствора InAlGaAs c содержанием Al < 40% позволило повысить концентрацию акцепторов в широкозонном окне до ∼ 9 · 1018 см−3 и полностью нивелировать потенциальный барьер, тем самым уменьшив последовательное сопротивление прибора. <...> Произведен расчет параметров метаморфного буфера GaInAs со ступенчатым профилем изменения содержания In, и оптимизированы параметры его эпитаксиального роста, что позволило улучшить собирание носителей заряда из области n-GaInAs и получить квантовую эффективность фотоответа на длине волны 1064нм 83%. <...> Фотопреобразователи, созданные на основе метаморфных гетероструктур с оптимизированными слоями широкозонного окна и метаморфного буфера, имели кпд преобразования излучения с длиной волны 1064нм на уровне 38.5%. <...> Введение Впоследнее время существенно вырос интерес к фотопреобразователям (ФП) лазерного излучения (ЛИ) с различной длиной волны. <...> Наиболее исследованными являются ФП ЛИ с длиной волны 809 нм, созданные на основе GaAs. <...> При этом на сегодняшний день наилучшие значения эффективности ФП ЛИ на основе GaAs, полученные на практике, находятся в районе 55−60% [5,6]. <...> Однако наибольший интерес для беспроводных <...>