ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ ПЛЕНОК SiCxNy : Н ИЗ СМЕСИ БИС(ТРИМЕТИЛСИЛИЛ)ЭТИЛАМИНА И ВОДОРОДА Институт неорганической химии им. <...> Лаврентьева, 3, e-mail: marina@niic.nsc.ru Тонкие пленки карбонитрида кремния SiCxNy синтезированы методом плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы с использованием в качестве исходного соединения кремнийорганического вещества — бис(триметилсилил)этиламина EtN(SiMe3)2 в смеси с водородом. <...> Химический состав и свойства пленок охарактеризованы комплексом современных методов исследования: ИК, КР и энергодисперсионная спектроскопии, эллипсометрия, сканирующая электронная микроскопия, спектрофотометрия. <...> Изучена зависимость скорости роста, химического состава и оптических свойств пленок от температуры синтеза в интервале 373—1073 K. <...> Установлено, что температура подложки оказывает существенное влияние на кинетику роста, морфологию поверхности, физико-химические свойства и функциональные характеристики пленок. <...> Низкотемпературные пленки SiCxNy обладают высокой прозрачностью в видимой и ИК области спектра. <...> Варьирование параметров синтеза позволяет получать слои с различной величиной коэффициента преломления (1.50— 2.50). <...> Ключевые слова: карбонитрид кремния, тонкие пленки, химическое осаждение из газовой фазы, оптические свойства. <...> Кремнийорганические соединения используются в процессах плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) для синтеза пленок различного состава и структуры [1, 2]. <...> В зависимости от условий осаждения (тип процесса, температура подложки, общее давление в реакторе, мощность плазмы, дополнительные газы) в таких процессах образуются полимероподобные или неорганические композитные слои, обладающие рядом полезных функциональных характеристик. <...> Полимероподобные пленки гидрогенизированного карбонитрида кремния SiCxNy : H перспективны в использовании диэлектрических материалов с низкой диэлектрической проницаемостью, барьерных слоев против диффузии <...>