3 13,12 Характеризация тонких углеродных пленок на поверхности железа, сформированных магнетронным напылением с ионно-лучевым перемешиванием © Т.С. Картапова 1,О.Р.Бакиева 1, В.Л. Воробьев 1, А.А. Колотов 1,О.М. Немцова 1, Д.В. Сурнин 1,Г.М.Михеев 2,Ф.З. Гильмутдинов 1,¶, В.Я. Баянкин 1 1 Физико-технический институт УрO РАH, Ижевск, Россия 2 Институт механики УрO РАH, Ижевск, Россия ¶ E-mail: ftiran@mail.ru Поступила в Редакцию2 августа 2016 г. Методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, рентгеноструктурного анализа, спектроскопии протяженных тонких структур энергетических потерь электронов и спектроскопии комбинационного рассеяния света изучены химический состав, межатомная химическая связь и особенности атомной структуры наноразмерных углеродных пленок на поверхности железа, полученных магнетронным напылением, до и после ионно-лучевого перемешивания. <...> В зоне ионно-лучевого перемешивания обнаружены структурные неоднородности и нестехиометрические карбиды железа. <...> Определены параметры локальной атомной структуры сверхтонкого поверхностного слоя и переходной области ”углеродная пленка−металл“. <...> Введение Углеродные пленки, в том числе пленки аморфного, наноструктурированного и алмазоподобного углерода, находят широкое применение в качестве износостойких покрытий для жестких дисков, оптических устройств, а также в полупроводниковых технологиях и электрохимических приложениях [1–2]. <...> Универсальность углеродных материалов определяется их структурой и характером межатомных связей, в частности зависимостью их физических свойств от соотношения sp2-и sp3-гибридизованного углерода [3]. <...> Среди множестваметодов формирования покрытий и пленок с заданными свойствами перспективными являются методы ионнолучевой обработки [10], в частности воздействие потоком высокоэнергетичных ионов на предварительно нанесенные магнетронным способом на поверхность мишени нанослои легирующего вещества, что позволяет <...>