3 12 Усовершенствованный цилиндрический зеркальный энергоанализатор © Л.А. Баранова Физико-технический институт им. <...> А.Ф. Иоффе, 194021 Санкт-Петербург, Россия e-mail: l.baranova@mail.ioffe.ru Поступило в Редакцию29 июня 2016 г. Проведено исследование электронно-оптических свойств усовершенствованной конструкции цилиндрического зеркального энергоанализатора. <...> Как внешний, так и внутренний электроды анализатора разделены на три изолированные части каждый, вследствие чего потенциалы на отдельных частях регулируются независимо друг от друга. <...> В симметричном режиме работы при одинаковых потенциалах на боковых частях электродов получено существенное повышение разрешающей способности и светосилы анализатора по сравнению со стандартной конструкцией цилиндрического зеркала. <...> В асимметричном режиме работы, реализуемом при линейном распределении потенциала на внешнем электроде, найдены условия, при которых в несколько раз возрастает линейная дисперсия анализатора. <...> 2017.03.44255.1962 Введение Цилиндрический зеркальный энергоанализатор широко применяется для анализа энергетических спектров заряженных частиц как в научных исследованиях, так и в промышленности. <...> Вработе [2] показано, что в цилиндрическом зеркале может быть осуществлена фокусировка второго порядка по углу влета заряженных частиц. <...> Подробное описание дисперсионных и фокусирующих свойств цилиндрического зеркала приведено в [3]. <...> Показано, что этот прибор обладает высокой светосилой и разрешающей способностью благодаря осевой симметрии и наличию фокусировки второго порядка по углу влета. <...> В 2013 г. опубликована работа [4], в которой предложена простая модификация цилиндрического зеркала, позволяющая существенно улучшить его электронно-оптические характеристики. <...> Внешний электрод модифицированной конструкции разрезан на три электрически изолированных части, потенциалы на которых могут регулироваться независимо. <...> Найдены оптимальные геометрические и электрические <...>