2 Краткие сообщения 08 Формирование металлических наноостровков при электронном облучении тонкой пленки золота на стекле © Ф.Э. Комиссаренко,1,2 М.В. Жуков,1,3 И.С. Мухин,1,2 А.О. Голубок,1,3 А.И. Сидоров 1,¶ 1 Университет ИТМО, 197101 Санкт-Петербург, Россия 2 Санкт-Петербургский академический университет — научно-образовательный центр нанотехнологий РАН (Академический университет), 194021 Санкт-Петербург, Россия 3 Институт аналитического приборостроения РАН, 198095 Санкт-Петербург, Россия ¶ e-mail: sidorov@oi.ifmo.ru Поступило в Редакцию 29 февраля 2016 г. Экспериментально показано, что локальное облучение тонкой пленки золота на поверхности стекла электронами с энергией 5 keV привело к увеличению толщины пленки в облученной зоне. <...> При локальном облучении пленки электронами с энергией 25 keV произошло уменьшение толщины пленки в облученной зоне и появление золотого кольца по периметру этой зоны. <...> При высокой плотности электронного тока утолщения пленки приобрели форму фрактальных наноструктур. <...> Причиной наблюдаемых эффектов явились формирование области отрицательного заряда на поверхности стекла или в его объеме и миграция положительных ионов золота в эту область. <...> 2017.02.44143.1784 Введение Тонкие металлические пленки, металлические наноструктуры и наночастицы широко используются в фотонике, плазмонике, сенсорных технологиях. <...> Примерами являются оптические волокна и волноводы с металлическими наночастицами на поверхности [1], химические [2] и биологические сенсоры [3,4], плазмонные волноводы и нанорезонаторы [5], наноантенны [6] иоптические нанотранзисторы [7], метаматериалы [8], концентраторы электромагнитного поля [9], оптические композиты [10], LED [11], плазмонные фотонные кристаллы [12] идругие устройства наноплазмоники [13–15]. <...> Как правило, для формирования металлических наноструктур применяется фото-, электронная и ионная литографии с использованием соответствующих резистов. <...> Вто же время непосредственное воздействие электронного <...>