192–196 НОВЫЕ ВЕЩЕСТВА, МАТЕРИАЛЫ И ПОКРЫТИЯ УДК 621.793.00 СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДА, ВОЛЬФРАМА, БОРА И ТИТАНА, ПОЛУЧЕННЫХ ИМПУЛЬСНЫМ ВАКУУМНО-ДУГОВЫМ МЕТОДОМ © 2017 г. М. <...> Исембердиева1 2Центр коллективного пользования научным оборудованием “Диагностика структуры и свойств наноматериалов”, Белгород, Россия 3НИЛ проблем разработки и внедрения ионно-плазменных технологий, Белгород, Россия *E-mail: kovaleva@bsu.edu.ru **E-mail: kolpakov@bsu.edu.ru Поступила в редакцию 19.05.2015 г. Представлены результаты исследования свойств покрытий на основе углерода, вольфрама, бора и титана, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом. <...> Установлено, что адгезионные характеристики покрытий на основе бора и титана можно повысить путем использования композиционного покрытия на основе углерода, легированного вольфрамом, бором и титаном, которое, кроме того, обладает большей микротвердостью, чем покрытие на основе бора и титана. <...> DOI: 10.7868/S0044185617020140 ВВЕДЕНИЕ Диборид титана обладает высокой твердостью, устойчивостью к износу и коррозии, уникально высокими теплопроводностью и электропроводностью, не свойственными керамическим материалам, а также термостойкостью [1]. <...> Эти свойства делают перспективным его применение в качестве твердых покрытий, а также в микроэлектронике в качестве диффузионных барьеров [2]. <...> Для повышения адгезии применяют различные методы, в частности, используют приложение отрицательного потенциала смещения [3], предварительное азотирование стальной подложки [4], а также использование дополнительных слоев титана и получение многослойной структуры на основе титана и диборида титана [5]. <...> Однако титан не обладает высокой твердостью, что может снижать твердость этой многослойной системы. <...> Углеродные покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом [6], обладают высокой твердостью и могут быть использованы в качестве прослойки между подложкой и диборидом титана при условии достаточной адгезии между этими слоями. <...> Представляет <...>