70–74 ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ НА МЕЖФАЗНЫХ ГРАНИЦАХ УДК 620.186 ИЗУЧЕНИЕ ВЛИЯНИЯ УСЛОВИЙ РОСТА МЕТОДОМ ХГФО В РЕЖИМЕ ДУГОВОГО РАЗРЯДА НА ОБРАЗОВАНИЕ И ГАБИТУС КРИСТАЛЛОВ АЛМАЗА © 2017 г. А. Н. Блаут-Блачев, А. А. Аверин, А. В. Шапагин, Б. В. Спицын* Институт физической химии и электрохимии им. <...> 31 *e-mail: spitsyn@phyche.ac.ru Поступила в редакцию 14.04.2016 г. Экспериментально изучено формирование кристаллов алмаза методом CVD в газовой смеси метан/водород с использованием дугового разряда постоянного тока для активации газовой смеси. <...> Получены данные о зависимости размеров кристаллов от состава газовой смеси, температуры подложки и других параметров. <...> Скорость роста кристаллов при используемом методе может превышать 100 мкм/ч. <...> DOI: 10.7868/S004418561701003X ВВЕДЕНИЕ Несмотря на продолжительный период изучения синтеза алмазных пленок и кристаллов, выращенных методом химического газофазного осаждения (ХГФО, CVD), до настоящего времени недостаточно выяснено влияние условий роста на зародышеобразование кристаллов и их габитус. <...> Экспериментальное выяснение зависимости параметров кристаллов от метода синтеза и условий роста будет способствовать лучшему пониманию процессов кристаллизации. <...> Для этой цели нами исследованы алмазные кристаллы, синтезированные методом ХГФО с использованием дугового разряда. <...> Синтез кристаллов проведен в установке, блок-схема которой представлена на рис. <...> Установка включает реактор, в который после откачки подается газовая смесь водорода и метана. <...> В реакторе установлен пьедестал, на котором помещается подложка. <...> Синтез кристаллов проводится из газовой смеси, активируемой дуговым разрядом, созданным источником по70 1 34 2 Рис. <...> Блок-схема установки для синтеза алмазных кристаллов: 1 – источник метана, 2 – источник водорода, 3 – регулятор потока метана, 4 – регулятор потока водорода, 5 – датчик давления, 6 – реактор, 7 – катод, 8 – область плазмы, 9 – подложка, 10 – пьедестал, 11 – прозрачное окно, 12 – излучение подложки <...>