УДК 620.179.14 СИСТЕМА ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ ПАРАМЕТРОВ МАГНИТНЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР НА БАЗЕ ВЕКТОРНОГО АНАЛИЗАТОРА ЦЕПЕЙ ZVA-67 С.В. Щербинин, С.О. Волчков, В.Н. Лепаловский, А.А. Членова, Г.В. Курляндская Тонкие магнитные пленки и многослойные структуры широко используются в электронных устройствах и сенсорных системах, включая системы для магнитного неразрушающего контроля и магнитного биодетектирования. <...> Создание сенсорных элементов нового поколения требует всесторонней аттестации пленочных наноструктур. <...> В настоящей работе представлена оригинальная система, позволяющая в автоматическом режиме измерять параметры тонких ферромагнитных пленочных структур на частотах от 0,1 до 25 ГГц в постоянном магнитном поле до 18 кЭ. <...> Ключевые слова: тонкие магнитные пленки, сенсоры магнитного поля, ферромагнитный резонанс, микроволновое поглощение, векторный анализ цепей, радиоспектроскопия. <...> ВВЕДЕНИЕ В настоящее время устройства диапазона сверхвысоких частот (СВЧ) широко применяются в радиолокации, радионавигации, связи, промышленности и медицине. <...> Хотя задача создания сенсорных элементов нового поколения не ориентирована на то, что все создаваемые устройства будут работать в диапазоне СВЧ, именно аттестация в микроволновом диапазоне все более и более востребована как часть всесторонней аттестации пленочных наноструктур [1—3]. <...> С другой стороны, разработка новых, удобных в эксплуатации измерительных систем позволяет обеспечить прогресс в создании магнитных наноструктур нового поколения. <...> Важными компонентами интегральных схем диапазона СВЧ являются «индуктивности на кристалле» (on-chip inductors), выполняемые по микрополосковой технологии с тонким ферромагнитным слоем. <...> Важными задачами при проектировании данных компонентов являются исследование ферромагнитного резонанса в тонких пленочных структурах и определение параметров, влияющих на частоту ферромагнитного резонанса (ФМР) [7—8], так <...>