Dz Резонансный датчик давления газа на отрезке коаксиальной линии Д. В. Янин, А. Г. Галка, А. В. Костров, С. Э. Привер, А.И. Смирнов Разработана и апробирована резонансная диагностическая система, позволяющая проводить измерения давления газа в вакуумных системах и его динамики во времени при инжекции молекулярных пучков. <...> Работа системы основана на измерении диэлектрической проницаемости газа, величина которой зависит от концентрации и дипольного момента его молекул. <...> При известной температуре газа однозначно определяется его давление. <...> Показано, что чувствительность диагностической системы порядка 0,6 Торр для гелия, 0,1 Торр для аргона и воздуха. <...> Диапазон рабочих давлений от 10-1 Торр до 1 атм. <...> Введение Самыми распространенными приборами для измерения среднего вакуума, в частности для контроля предварительного разрежения в вакуумных системах являются тепловые вакуумные датчики (ПМТ-2, ПМТ-4М, ПМТ-6-3). <...> Действие тепловых вакуумметров основано на зависимости теплопроводности разреженных газов от концентрации газа а, следовательно, от давления. <...> Основным элементом теплового преобразователя давления является нагретый пропусканием тока проводник (нагреватель), по изменению температуры которого либо по изменению электрической мощности, расходуемой для поддержания неизменной температуры, судят о давлении. <...> По способу контроля температуры тепловые вакуумметры подразделяют на термопарные, в которых мерой давлений служит термоЭДС термопары, соединенной с нагревателем, и на вакуумметры сопротивления, где исЯнин Дмитрий Валентинович, научный сотрудник, к.ф.-м.н. <...> Показания тепловых вакуумметров зависят от рода газа. <...> Относительная погрешность измерений давления тепловыми датчиками порядка 30–50 % от измеряемой величины. <...> Данная статья посвящена разработке и апробации малогабаритного резонансного СВЧ-датчика, предназначенного для измерения давления газов от 10-1 Торр до 1 атм и его динамики во времени <...>