УДК 628.83 Функционально-экологическая оценка чистых помещений Н.М. Дисветова Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия Functional-Ecological Evaluation of Clean Room N.M. <...> Disvetova National Research University of Electronic Technology, Moscow, Russia Исследована применимость метода системного анализа к чистым помещениям технологии микроэлектроники для улучшения их энергоэкологических показателей. <...> Рассмотрена возможность использования на практике метода оценки экологичности системы кондиционирования воздуха для чистых помещений микроэлектроники с помощью функционально-экологического анализа, приведен его алгоритм и пример реализации для действующей технологии. <...> Функционально-экологический анализ –трудоемкий метод, однако его эффективность и полнота дают значительное преимущество при оценке чистых помещений. <...> Ключевые слова: функционально-экологический анализ; чистое помещение; система кондиционирования воздуха; выбросы предприятий. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 22 № 1 2017 95 Краткие сообщения The applicability of one of the system analysis method for clean rooms of the microelectronics technology to improve their energy and ecological indicators has been investigated. <...> The possibility of using in practice the ecological assessment method of the air-conditioning system for clean rooms in microelectronics using the functionalecological analysis has been considered, and its algorithm and implementation example have been given. <...> The functional-ecological analysis is a time-consuming method, however, the efficiency and completeness make it a considerably advantageous in investigation of clean rooms. <...> Применяемые в настоящее время методы оценки эффективности чистых помещений (ЧП) как сложной технической системы, базирующиеся на стоимостном, структурном и функциональном подходах, отражают главным образом ее полезность, но не дают представления об экологических аспектах. <...> Описание этой стороны проблемы эксплуатации ЧП становится возможным при использовании функционально-экологического анализа, объединяющего принципы функциональности и экологичности систем. <...> При этом главным критерием адекватности затрат на осуществление требуемых функций служит экологичность системы и ее элементов, характеризующихся <...>