74–76 ПЛАЗМОХИМИЯ УДК 541.64+621.384.5 ИЗМЕНЕНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОК ПОЛИЭФИРСУЛЬФОНА ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА © 2017 г. М. С. Пискарев*, А. Б. Гильман*, А. И. Гайдар**, А. А. Кузнецов* *Институт синтетических полимерных материалов им. <...> Малая Пионерская, 12 E-mail: plasma@ispm.ru Поступила в редакцию 14.06.2016 г. DOI: 10.7868/S0023119317010090 Ранее нами было установлено, что модифицирование пленок полиэфирсульфона (ПЭС) под воздействием разряда постоянного тока на аноде и катоде приводит к значительной и устойчивой во времени гидрофилизации поверхности [1]. <...> Методом рентгенофотоэлектронной спектроскопии было показано, что этот эффект связан с существенными изменениями химического состава и структуры ПЭС. <...> Однако известно, что наряду с химическими изменениями в результате воздействия низкотемпературной плазмы наблюдаются изменения морфологии поверхности пленок полимеров [2]. <...> В связи с тем, что в настоящее время пленки ПЭС широко применяются в микроэлектронике и в качестве субстратов для гибких оптоэлектронных устройств, изучение морфологических изменений их поверхности является, безусловно, актуальным. <...> Для проведения такого рода исследований используют методы атомносиловой микроскопии (АСМ) и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) [2, 3]. <...> Пленки модифицировали в ВЧразряде в атмосфере кислорода (13.56 МГц, давление 80 Па, мощность разряда 100 Вт). <...> Методом АСМ было показано, что величина среднеквадратичной шероховатости (Rq), составлявшая для исходного образца 0.9 нм, возрастала до 12.1, 35.5, 78 и 109.5 нм после обработки пленок в плазме в течение 5, 15, 30 и 45 мин, соответственно. <...> Согласно данным СЭМ на изначально мелкозернистой поверхности пленки под воздействием ВЧ-разряда в течение 5 мин появлялись дефектные области с “более грубой” структурой (процесс “зарождения”), количество и размер таких структур постепенно увеличивались с ростом времени обработ74 ки, а поверхность становилась “более грубой” – более шероховатой <...>