УДК 681.586`33.621.3.049.77 ВАКУУМНЫЕ ДАТЧИКИ С НАНОСТРУКТУРОЙ НА ОСНОВЕ SiO2—SnO2 И SiO2—SnO2—In2O3 1) Аверин Игорь Александрович д-р техн. наук, профессор, зав. кафедрой E-mail: micro@pnzgu.ru 2) Мошников Вячеслав Алексеевич д-р физ.-мат. наук, профессор E-mail: vamoshnikov@mail.ru 1) Игошина Светлана Евгеньевна канд. физ.-мат. наук, доцент E-mail: sigoshina@mail.ru 1) Пронин Игорь Александрович аспирант E-mail: pronin_i90@mail.ru 1) Карманов Андрей Андреевич аспирант E-mail: starosta07km1@mail.ru 1) Пензенский государственный университет, г. Пенза 2) Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. <...> В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург Аннотация: Описаны устройство и принцип работы вакуумных датчиков с наноструктурой на основе SiO2—SnO2 и SiO2—SnO2—In2O3. <...> Экспериментально установлено, что чувствительность данных вакуумметров зависит от количественного состава наноструктур. <...> Показано, что массовая доля диоксида олова косвенным образом (за счет изменения общей пористости) влияет на относительное изменение сопротивления чувствительных элементов датчиков вакуума. <...> Использование трехкомпонентных наностуктур на основе SiO2—SnO2—MexOy вместо двухкомпонентных на основе SiO2—SnO2 позволяет расширить возможности управления чувствительностью датчиков вакуума на основе наноматериалов. <...> Ключевые слова: датчики вакуума, наноструктуры, золь-гель технология, десорбция газов, пористые оксидные материалы. <...> ВВЕДЕНИЕ Для измерения вакуума используется множество разнообразных устройств, в основе работы которых лежат различные физические явления 1 Работа выполнена при финансовой поддержке со стороны Минобрнауки России в рамках базовой части государственного задания ПГУ № 2014/151 (код проекта 117), стипендии Президента РФ СП-4686.2013.1, а также госзадания СПбГЭТУ “ЛЭТИ” № 16.2112.2014/К (проектная часть). <...> Math.), Associate Professor E-mail: sigoshina@mail.ru 1) Pronin Igor A. Postgraduate E-mail: pronin_i90@mail.ru 1) Karmanov Andrey A. Postgraduate E-mail: starosta07km1@mail.ru 1) Penza State University, Penza city 2) Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg Abstract: A device and principle <...>