Факультету радиотехники, электроники и связи ГУАП — 70 лет УДК 681.2.08 ДАТЧИК ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ SENSOR TO MEASURE ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF LOW TEMPERATURE PLASMA Михайлов Виктор Федорович д-р техн. наук, профессор E-mail: vmikhailov@pochta.tvoe.tv Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения Факультет радиотехники, электроники и связи Кафедра медицинской радиоэлектроники Аннотация: Предложено применение датчика проводимости для измерения электрических характеристик низкотемпературной плазмы (концентрации электронов). <...> Представлены его конструкция, методика применения, методы уменьшения погрешностей измерения. <...> ВВЕДЕНИЕ Низкотемпературная плазма широко применяется в различных технологических процессах (сварка и резка металлов, выращивание кристаллов, имитация аэродинамического нагрева, действующего на космический аппарат на траектории спуска и т. д.) <...> . При этом для управления режимами технологических процессов совершенно необходимо знание электрических характеристик плазмы — концентрации электронов, электронной температуры. <...> Метод электрических зондов является одним из основных способов определения параметров низкотемпературной плазмы. <...> Это объясняется тем, что в сравнении с другими методами диагностики (СВЧ-методы, оптические) в зондовом методе техника измерений гораздо проще. <...> Применение метода зондовых измерений, разработанного Ленгмюром почти сто лет назад, ограничено случаем плазмы низкого давления, когда столкновениями между частицами можно пренебречь. <...> Для плазмы высокого давления, что имеет место при использовании ее в различных технологических процессах, не представляется возможным установить правильную однозначную связь между величиной зондового тока и параметрами плазмы. <...> МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМЫ ПРИ ПОМОЩИ ДАТЧИКА ПРОВОДИМОСТИ При проведении измерений на постоянном токе <...>