Факультету радиотехники, электроники и связи ГУАП — 70 лет УДК 535.341;539.264;539.232 ФОРМИРОВАНИЕ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ZnO ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ ДЛЯ МДП-ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ УФ-ДИАПАЗОНА1 THE POLYCRYSTALLINE ZnO FILMS SPUTTERING BY THE ION-PLASMA METHOD FOR UV MDP PHOTOELECTRIC DEVICES 1) Григорьев Леонид Владимирович канд. физ.-мат. наук, ст. научн. сотрудник, доцент Е-mail: grigoryev@oi.ifmo.ru 1) Бочкарева Елизавета Сергеевна магистрант Е-mail: grigoryev@oi.ifmo.ru 2) Нефедов Вячеслав Григорьевич канд. техн. наук, доцент Е-mail: nvg60@mail.ru 2) Шакин Олег Васильевич д-р физ.-мат. наук, ст. научн. сотрудник, профессор Е-mail: oshakin@mail.ru 1) Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики 2) Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения Факультет радиотехники, электроники и связи Кафедра конструирования и технологии электронных и лазерных средств Аннотация: Приведены результаты исследования тонких поликристаллических пленок оксида цинка, полученных методом ионно-плазменного распыления металлической мишени в среде сильного газового окислителя. <...> Показано, что их оптические свойства близки к оптическим свойствам монокристаллического оксида цинка и могут быть успешно использованы в качестве приемной площадки фотоприемников ультрафиолетового оптического диапазона. <...> Ширина запрещенной зоны пленки составляет 3,22 эВ, что незначительно отличается от ширины запрещенной зоны монокристалла оксида цинка 3,3 эВ. <...> Ключевые слова: поликристаллические тонкие пленки оксида цинка, ионно-плазменное распыление, оптический спектр, УФ-фотоприемники. <...> ВВЕДЕНИЕ Пленки оксида цинка ZnO относятся к широкозонным и прямозонным полупроводникам, что обуславливает множество интересных свойств этого материала, 1 Работа выполнена при государственной финансовой поддержке Российского научного фонда (Соглашение № 14-23-00136). <...> By ion-plasma dispersion method of a metal target in a strong gas oxidizer films were received <...>