Факультету радиотехники, электроники и связи ГУАП — 70 лет УДК 681.2.081 МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОГРЕШНОСТИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ИЗОТРОПНОМ МОДЕЛИРОВАНИИ УПРУГИХ СВОЙСТВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ1 METHODICAL ERRORS OF MICROELECTROMECHANICAL SENSORS OF PRESSURE AT ISOTROPIC MODELLING OF ELASTIC PROPERTIES OF SINGLE-CRYSTAL SILICON Бестугин Александр Роальдович д-р техн. наук, профессор, декан факультета, зав. кафедрой E-mail: kaf23@guap.ru Киршина Ирина Анатольевна канд. эконом. наук, доцент Окин Павел Александрович аспирант Филонов Олег Михайлович канд. техн. наук, доцент Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения Факультет радиотехники, электроники и связи Кафедра конструирования и технологии электронных и лазерных средств Аннотация: Проведено исследование методической погрешности микромеханического датчика давления с вторичным емкостным измерительным преобразователем, возникающей из-за применения в конструкторских и метрологических расчетах изотропной модели упругих свойств монокристаллической мембраны. <...> Получено решение уравнения Жермен-Лагранжа для круглых анизотропной и изотропной мембран, проведено сравнение значений их прогибов для обоих случаев. <...> Проведенный анализ показал, что выходная погрешность измеряемой величины, соответствующей изотропному приближению, достигает 7 % от измеряемого давления и вносит существенный вклад в общую погрешность датчика. <...> Показано, что эта погрешность может быть легко скомпенсирована схемотехническими средствами. <...> Ключевые слова: методическая погрешность, монокристаллическая мембрана, анизотропия упругих свойств, уравнение Жермен-Лагранжа. <...> ВВЕДЕНИЕ Создание прецизионных микроэлектромеханических систем (МЭМС), способных при достигнутом уровне миниатюризации полноценно конкурировать с системами аналогичного назначения в традиционном исполнении, в настоящее время стало одним из главных направлений развития микросистемой <...>