Автоматизация процессов дозирования жидкостей в условиях малых производств. <...> Устройства транспортировки и дозирования клеевых составов в сборочных производствах // Клеи. <...> ] УДК 681.586`36.621.3.049.77 ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАГРЕВАТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОЙ МИКРООБРАБОТКИ1 GAS SENSORS MICROHOTPLATES FABRICATION TECHNOLOGY BASED ON LASER MICROMACHINING 1) Самотаев Николай Николаевич канд. техн. наук, доцент E-mail: nnsamotaev@mephi.ru 1) Облов Константин Юрьевич ассистент Е-mail: kyoblov@mephi.ru 1) Иванова Анастасия Владимировна ассистент Е-mail: avkushneruk@mephi.ru 1) Андреев Артур Олегович инженер E-mail: artandreev07@gmail.com 2) Васильев Алексей Андреевич д-р техн. наук, вед. научн. сотрудник E-mail: a-a-vasiliev@yandex.ru 2) Соколов Андрей Владимирович научн. сотрудник E-mail: sok44@yandex.ru 2) Писляков Александр Викторович канд. хим. наук, научн. сотрудник E-mail: palexv_07@mail.ru 1) Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва 2) Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”, Москва 1) Samotaev Nikolay N. Ph. <...> Lecturer Е-mail: kyoblov@mephi.ru 1) Ivanova Anastasia V. Lecturer Е-mail: avkushneruk@mephi.ru 1) Andreev Artur O. Engineer E-mail: artandreev07@gmail.com 2) Vasiliev Alexey A. D. <...> Sokolov Andrey V. Researcher E-mail: sok44@yandex.ru 2) Pisliakov Alexander V. Ph. <...> 52 Sensors & Systems · ¹ 11.2015 Аннотация: Представлен оригинальный технологически эффективный процесс создания нагревательных элементов по общеизвестной технологии изготовления микроэлектромеханических систем (далее — МЭМС) для использования в газочувствительных датчиках, ориентированных на специализированное применение по заказу, где зачастую важна многофункциональность технологии и возможность оперативной перенастройки оборудования, позволяющая создавать в день по несколько небольших серий нагревателей и мембран с различными топологиями без применения фотолитографии. <...> ВВЕДЕНИЕ Спецификой газочувствительных полупроводниковых датчиков является возможность их работы при повышенных температурах. <...> Неотъемлемой частью конструкции интегральных датчиков является нагреватель <...>