Fainer N.I., Plekhanov A.G., Golubenko A.N. et al. // ECS J. Solid State Sci. <...> На основе данных термодинамического моделирования осаждения конденсированных фаз сложного состава в системе Si—С- -N—О- Н в широкой области температур с использованием исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана (HSifCIbbbNH, ТМДС с варьируемой смесью кислорода и азота (02+xN2) разработан метод получения панокомпозитных пленок SiCvNvOr:H плазмохимическим разложением этой газовой смеси в области температур 373—973 К. <...> Исследован in situ состав исходной газовой фазы в процессах PECVD методом эмиссионной оптической спектроскопии! <...>