Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 639001)
Контекстум
Электро-2024
Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия  / №1 2012

Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давления (60,00 руб.)

0   0
Первый авторВавилин
АвторыГоморев М.А., Кралькина^ Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
Страниц5
ID572537
АннотацияЭкспериментально изучаются параметры плазмы гибридного ВЧ-разряда, который является новой модификацией ВЧ-разряда. Разряд поддерживается как вихревым, так и потенциальным ВЧ-элек-трическими полями. Для организации гибридного ВЧ-разряда в настоящей работе используется узел ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. В емкостной канал разряда включена разделительная емкость. В работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, давления аргона и величины разделительной емкости на параметры плазмы разряда, такие как энергетическое распределение, температура и концентрация электронов, потенциал плазмы. Рассмотрена роль емкостного канала в изменении свойств и параметров разряда
УДК537.32.
Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давления / К.В. Вавилин [и др.] // Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия .— 2012 .— №1 .— С. 102-106 .— URL: https://rucont.ru/efd/572537 (дата обращения: 17.06.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Экспериментально изучаются параметры плазмы гибридного ВЧ-разряда, который является новой модификацией ВЧ-разряда. <...> Разряд поддерживается как вихревым, так и потенциальным ВЧ-элек-трическими полями. <...> Для организации гибридного ВЧ-разряда в настоящей работе используется узел ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. <...> В емкостной канал разряда включена разделительная емкость. <...> В работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, давления аргона и величины разделительной емкости на параметры плазмы разряда, такие как энергетическое распределение, температура и концентрация электронов, потенциал плазмы. <...> Рассмотрена роль емкостного канала в изменении свойств и параметров разряда! <...>