Экспериментально изучаются параметры плазмы гибридного ВЧ-разряда, который является новой модификацией ВЧ-разряда. <...> Разряд поддерживается как вихревым, так и потенциальным ВЧ-элек-трическими полями. <...> Для организации гибридного ВЧ-разряда в настоящей работе используется узел ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. <...> В емкостной канал разряда включена разделительная емкость. <...> В работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, давления аргона и величины разделительной емкости на параметры плазмы разряда, такие как энергетическое распределение, температура и концентрация электронов, потенциал плазмы. <...> Рассмотрена роль емкостного канала в изменении свойств и параметров разряда! <...>