Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 639001)
Контекстум
Электро-2024
Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия  / №1 2012

Влияние внешних параметров на особенности высокочастотного гибридного разряда низкого давления (60,00 руб.)

0   0
Первый авторВавилин
АвторыГоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
Страниц4
ID572536
АннотацияЭкспериментально изучаются закономерности энерговклада в плазму гибридного ВЧ-разряда с узлом ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных спиральной антенны и обкладок конденсатора. Показано, что при малых значениях мощности ВЧ-генератора ВЧ-мощность поступает в гибридный разряд главным образом через емкостной канал, затем по мере роста мощности ВЧ-генератора роль индуктивного канала возрастает. Вклад индуктивного канала тем больше, чем меньше величина разделительной емкости, включенной в емкостную цепь разряда
УДК537.32.
Влияние внешних параметров на особенности высокочастотного гибридного разряда низкого давления / К.В. Вавилин [и др.] // Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия .— 2012 .— №1 .— С. 98-101 .— URL: https://rucont.ru/efd/572536 (дата обращения: 17.06.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Экспериментально изучаются закономерности энерговклада в плазму гибридного ВЧ-разряда с узлом ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных спиральной антенны и обкладок конденсатора. <...> Показано, что при малых значениях мощности ВЧ-генератора ВЧ-мощность поступает в гибридный разряд главным образом через емкостной канал, затем по мере роста мощности ВЧ-генератора роль индуктивного канала возрастает. <...> Вклад индуктивного канала тем больше, чем меньше величина разделительной емкости, включенной в емкостную цепь разряда! <...>