Получение и свойства новых нанокомпозиционных углеродных материалов. <...> УДК 539.234 Р.К. Яфаров Равиль Кяшшафович Яфаров ( ) ) Лаборатория cубмикронной электронно-ионной технологии, Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. <...> Зеленая, 38, Саратов, Российская Федерация, 410019 Е-mail: pirpc@yandex.ru ( ПОЛУЧЕНИЕ И СВОЙСТВА НОВЫХ НАНОКОМПОЗИЦИОННЫХ УГЛЕРОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ Впервые обнаружен эффект самоорганизации алмазных нанокристаллитов в графитовых и полимероподобных углеродных пленках при осаждении из паров этанола низкого давления с использованием неравновесной высокоионизованной микроволновой плазмы. <...> Разработана технология получения нанокомпозиционных алмазографитовых покрытий с регулируемыми порогами автоэлектронной эмиссии в интервале от 5-7 до 20 В/мкм и плотностями токов свыше 100А/см2. <...> Показана возможность получения на кристаллах кремния островковых углеродных покрытий и пространственных наносистем со сверхвысокой поверхностной плотностью, а также квазизамкнутых сотовых макроячеистых структур с прозрачными в видимом спектральном диапазоне графеноподобными «окнами». <...> Ключевые слова: самоорганизация, углеродные наноструктуры, низкотемпературное осаждение, микроволновая плазма UDC 539.234 R.K. <...> Yafarov Ravil K. Yafarov ( ) Laboratory of Submicron Electron-Ion Technology, Kotel'nikov Institute of Radioengineering and Electronics of RAS (Saratov branch), Zelyonaya str., 38, Saratov, 410019, Russia Е-mail: pirpc@yandex.ru ( ) RECEIVING AND PROPERTIES OF NEW NANO COMPOSITE CARBON MATERIALS The effect of self-organization of diamond nanocrystallites in graphite and in the polymer-like carbon films was discovered for the first time at deposition from vapors of ethanol of low pressure with the use of non-equilibrium high-ionized microwave plasma. <...> Key words: self-organization, carbon nano structures, low temperature deposition, microwave plasma ВВЕДЕНИЕ Благодаря многообразной природе химической связи, углерод относится к уникальным материалам. <...> Одним из перспективных методов получения новых наноструктурных и нанокомпозиционных углеродных материалов является неравновесная высокоионизованная микроволновая плазма низкого давления в магнитном поле [1]. <...> Это позволяет селективно <...>