Селективный рост графеноподобных пленок на диэлектрических подложках. <...> Selective growth of thin carbon films on dielectrics substrates. <...> УДК: 546.26:539.216 Д.М. Седловец, М.А. Князев Дарья Михайловна Седловец ( ) Экспериментально-технологическая лаборатория №5, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН), ул. <...> 6, Черноголовка Московской области, Российская Федерация, 142432 E-mail: sedlovets@iptm.ru ( ) Максим Александрович Князев Группа физики и технологии мезоскопических структур №4, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН), ул. <...> 6, Черноголовка Московской области, Российская Федерация, 142432 E-mail: maleksak@iptm.ru СЕЛЕКТИВНЫЙ РОСТ ГРАФЕНОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ Описан способ управления качеством углеродных пленок, полученных методом пиролиза паров этанола на поверхности диэлектрических подложек, предварительно засвеченных электронным лучом. <...> Изучено влияние дозы предварительного экспонирования подложек на степень структурного совершенства осаждаемых пленок. <...> Knyazev Daria M. Sedlovets ( ) Experimental technological laboratory №5, Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials of RAS (IMT RAS), Academician Ossipyan str. <...> 6, Chernogolovka, Moscow Region, 142432, Russia E-mail: sedlovets@iptm.ru ( ) Maxim A. Knyazev Group of Physics and Technology of Mesoscopic Structures №4, Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials of RAS (IMT RAS), Academician Ossipyan str. <...> 6, Chernogolovka, Moscow Region, 142432, Russia E-mail: maleksak@iptm.ru SELECTIVE GROWTH OF THIN CARBON FILMS ON DIELECTRICS SUBSTRATES The method of control of the quality of thin carbon films obtained by ethanol vapor pyrolysis on the surface of dielectric substrates which was preliminary irradiated by e-beam is described. <...> The influence of the exposure doses on the structural perfection of the obtained films was studied. <...> Key words: graphene-like films, chemical vapor deposition (CVD), electron <...>