УДК 537.525 А.А. Овцын, А.И. Артюхов, С.А. Смирнов Александр Андреевич Овцын ( ), Алексей Иванович Артюхов, Сергей Александрович Смирнов Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники, Ивановский государственный химико-технологический университет, 153000, Иваново, пр. <...> Шереметевский, 7 E-mail: moose2004@inbox.ru ( ), kaifat115@ya.ru, sas@isuct.ru КИНЕТИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТРАВЛЕНИЯ ПОЛИКАРБОНАТА В ПЛАЗМЕ КИСЛОРОДА И ВОЗДУХА Исследована кинетика травления литого поликарбоната в положительном столбе тлеющего разряда постоянного тока в потоке кислорода и воздуха в диапазоне токов 20-110 мА и давлений 50-300 Па при разных степенях загрузки реактора полимером. <...> Определены скорости убыли массы, энергии активации процесса травления, а также поверхностные энергии. <...> Определен состав поверхностных функциональных групп методом МНПВО, а также морфология поверхности методом АСМ. <...> Smirnov Department of Electronic Devices and Materials, Ivanovo State University of Chemistry and Technology, 153000 Ivanovo, Sheremetievskiy Ave., 7, Russia E-mail: moose2004@inbox.ru ( ), kaifat115@ya.ru, sas@isuct.ru KINETIC REGULARITIES OF POLYCARBONATE ETCHING IN OXYGEN AND AIR PLASMA Kinetics of etching of cast polycarbonate in the positive column of a DC glow discharge in a flow of oxygen and air were studied at the current range of 20-110 mA and pressure range of 50-300 Pa at different degrees of reactor loading with polymer. <...> The mass loss rates, activation energies of etching process and surface energies were determined. <...> Key words: air plasma, oxygen plasma, plasma chemical etching, polycarbonate, modification ВВЕДЕНИЕ Низкотемпературная плазма пониженного давления широко используется в различных приложениях, связанных с модификацией поверхности полимерных материалов. <...> При плазмохимическом травлении полимерных материалов (тканей и пленок) наблюдается эффект загрузки − уменьшение удельной скорости травления материала с увеличением его количества. <...> Площадь обрабатываемого полимера определяет количество газообразных продуктов деструкции в объеме разряда [1], что в свою очередь оказывает влияние на параметры разряда <...>