Контроль ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ УДК 697.1 Д. А. Кудрявцева МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ГАЗОВ В РАЗЛИЧНЫХ УСЛОВИЯХ НА ОСНОВЕ ПОВЕРХНОСТНОГО МЕХАНИЧЕСКОГО НАПРЯЖЕНИЯ D. <...> Показано преимущество тензорезистивного метода мембранного сенсора поверхностного напряжения по сравнению с традиционно применяемыми оптическими методами. <...> As a result of the spent researches presented Membrane-type Surface stress Sensor improves sensitivity in 3– 4 times in comparison with the presented method. <...> Ключе в ые слова: мембранный сенсор поверхностного напряжения, наномеханические сенсоры, чувствительность. <...> Изготовление современных чувствительных элементов датчиков механических величин невозможно без использования последних достижений науки и техники, в том числе нанотехнологий. <...> Например, к современным средствам измерения объема и массы газов в различных условиях эксплуатации предъявляются требования высокой чувствительности, которую невозможно получить без использования нано- и микроэлектромеханических систем (МЭМС). <...> В данной статье представлены конструктивные решения для повышения чувствительности мембранного сенсора поверхностного напряжения (МСПН) на основе тензорезистивного метода по сравнению с традиционно применяемыми оптическими методами. <...> Широкое применение в МЭМС нашли наномеханические сенсоры для измерения объема и массы газов в различных условиях эксплуатации. <...> Общая идея таких сенсоров состоит в том, что химическое или биологическое воздействие может влиять на механические характеристики микромеханического преобразователя таким образом, что их изменение может быть измерено с помощью электронных, оптических или других устройств [1]. <...> Обязательным элементом таких сенсоров является кантилевер с модифицированной поверхностью или даже целый набор таких кантилеверов. <...> Кантилевер представляет собой зонд в виде иглы, выращенной на конце прямоугольной балки, используется в атомно-силовой микроскопии. <...> 1 представлен принцип регистрации отклонения кантилевера <...>