PRINCIPLES, MODELS AND DESIGNS STUDIED THE PRINCIPLES OF MULTIFUNCTIONAL SENSORS (MFS) PHYSICAL QUANTITIES Аннотация. <...> Исследованы принципы построения многофункциональных датчиков (МФД) физических величин (ФВ), основанных на различных физических эффектах. <...> Определены критерии информационно-энергетической и технологической совместимости преобразования различных величин одним датчиком, выбраны базовые методы совмещенного преобразования неэлектрических величин. <...> Доказано, что наиболее «гибкими» с точки зрения многообразия физических эффектов, которые могут быть использованы в МФД ФВ, являются микроэлектронные датчики (МЭД). <...> МЭД могут использоваться для одновременного измерения таких параметров, как давление и температура, давление и вибрации, ускорения и скорости, ускорения и температуры. <...> Особенно актуально наличие в одном датчике канала давления и температуры, так как эти параметры являются наиболее распространенными при измерениях на практике. <...> При этом для многофункциональных МЭД может быть получена высокая селективность измерений при малых габаритах, высокой точности и малом энергопотреблении самих датчиков. <...> Приведены структурные схемы многофункциональных датчиков с различными принципами преобразования. <...> Предложена классификация физически совместимых принципов преобразования различных параметров. <...> Показаны конкретные примеры реализации полупроводниковых и пьезоэлектрических МФД ФВ. <...> Proven to be the most flexible from the point of view of the variety of physical effects that can be used in MFS PQ are microelectronic sensors (MES). <...> Shows concrete implementation examples of semiconductor and piezoelectric MFS PQ. <...> Из существующих датчиков наибольшими конструктивно-технологическими возможностями обладают МЭД, которые позволяют интегрировать в одном полупроводниковом чувствительном элементе (ПЧЭ) тензо- и термочувствительные элементы; фоточувствительные, магниточувствительные структуры [1, 2]. <...> В многофункциональных пьезоэлектрических датчиках (ПЭД) возможно использование чувствительных слоев или отдельных пьезоэлементов <...>