Электроника, измерительная и радиотехника УДК 681.586’326:539.2 А. Г. Амельченко, В. А. Бардин, В. А. Васильев СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ И ЭЛЕМЕНТЫ УСИЛИВАЮЩЕГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО АКТЮАТОРА ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ Аннотация. <...> Объектом исследования является система управления прецизионным изгибно-натяжным (усиливающим) пьезоэлектрическим актюатором, состоящим из четырех пьезопакетов, размещенных на основании с упорами и установленных в охватывающий их упругий корпус. <...> Предметом исследования являются методы компенсации гистерезиса и совершенствования конструктивных элементов, повышающие линейность, точность, диапазон его рабочего перемещения. <...> Цель исследования – разработка системы управления изгибно-натяжным пьезоэлектрическим актюатором с замкнутой и разомкнутой цепью обратной связи для многофункционального тестового оборудования, обеспечивающего перемещение объекта по одной координате с нанометровым разрешением. <...> Повышение точности позиционирования системы управления с разомкнутой цепью обратной связи и компенсация гистерезиса пьезоэлементов выполнены с помощью математической модели Прейсака, а с замкнутой цепью обратной связи – с помощью схемы с пленочными тензорезистивными датчиками изгибной деформации упругой рамки; исследование процессов деформирования изгибных элементов упругой рамки выполнены методом конечных элементов. <...> Разработаны две системы управления для прецизионного позиционирования на основе усиливающего пьезоэлектрического актюатора, применяемые в многофункциональном тестовом оборудовании. <...> Разработана компьютерная модель упругой рамки усиливающего пьезоактюатора, проведено ее исследование, введены изгибные элементы в виде вырезов и оптимизированы их размеры для получения максимальной точности при максимальном диапазоне перемещения. <...> Разработанная система позиционирования с разомкнутой цепью обратной связи, использующая математическую <...>