МЕТОДЫ И ТЕХНИКА ИЗМЕРЕНИЙ MEASUREMENT METHODS AND TECHNOLOGY УДК 531.78 Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометра Н. <...> Новак2 1Национальный исследовательский университет «МИЭТ» 2ОАО «Ангстрем» (г. Москва) Method for Measurement of Mechanical Stresses in Thin Films on Wafer Using an Optical Profilometer N.A. <...> Novak2 1National Research University of Electronic Technology, Moscow 2JSC «Angstrem», Moscow Разработан и реализован алгоритм анализа рельефа для расчета механических напряжений в выбранном направлении на пластине в программной среде Matlab. <...> Методика предусматривает возможность проведения измерений в каждой точке образца, что обеспечивает наглядное представление данных и позволяет получить распределение механических напряжений по поверхности пластины. <...> C помощью данной методики измерены механические напряжения в пленке плазмохимического нитрида кремния на кремниевой подложке. <...> Проведен анализ в среде приборнотехнологического моделирования TCAD. <...> An algorithm of the relief analysis for the purpose of calculating the mechanical stresses in selected direction on a wafer in the form of a program package Matlab has been designed and implemented. <...> The method provides the possibility of measurement at each point of the sample that delivers a visual picture of the data to obtain the distribution of mechanical stresses on the wafer surface. <...> Using this technique the measurement of mechanical stresses in the film of plasma chemical silicon nitride has been conducted. <...> Деформация возникает при градиенте температуры в структуре вследствие разницы между температурными коэффициентами линейного расширения различных слоев. <...> Напряжение растяжения в пленке структуры, как правило, приводит к растрескиванию пленки или отслаиванию. <...> Однако наличие напряжения может повысить предел упругости системы, предел выносливости, коррозионно-механическую стойкость, быстродействие транзистора. <...> Существуют различные методики измерения механических напряжений, основанные на деформации пластины, использовании колец Ньютона, формулы Стони, спектроскопии комбинационного рассеяния света. <...> Методики делятся на прямые (рентгеновская <...>