МИКРО- И НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА MICRO- AND NANOSYSTEM TECHNOLOGY УДК 621.38.049.77 Модель теплообмена тепловыделяющих элементов микрозеркальных МЭМС В.К. <...> Самойликов, С.П. Тимошенков, С.С. Евстафьев Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Some Features of Heat Exchange in Micro System Elements V.K. <...> Evstafev National Research University of Electronic Technology, Moscow Показана возможность использования закономерностей макроскопической (классической) термогидродинамики и определены ее пространственно-временные ограничения при моделировании теплообмена микронных тепловыделяющих элементов микрозеркальных микроэлектромеханических систем (МЭМС) различной геометрии. <...> Основными задачами моделирования являются определение эксплуатационных характеристик микрозеркальных МЭМС и пути оптимизации этих показателей. <...> Приведен пример практической апробации модели теплообмена тепловыделяющего элемента термомеханического актюатора, входящего в состав микрозеркальной МЭМС. <...> The possibility of using the macroscopic laws of (classical) thermohydrodynamics and its space-time limitations in modeling heat transfer from micron-sized MEMS micromirror elements of different geometry has been discussed. <...> The main objectives of the modeling is to determine the performance of MEMS micromirror and the direction of ways to optimize these parameters. <...> An example of practical testing of heat transfer model of thermo-mechanical actuator, which is a part of the micromirror MEMS, has been provided. <...> Стремительному развитию микроэлектромеханических систем (МЭМС) способствуют хорошо освоенная технология изготовления интегральных схем (ИС) и большая потребность в малогабаритных и энергоэффективных устройствах различного функционального назначения. <...> Характерные размеры большинства элементов МЭМС, которые можно оценить отношением объема элемента V к ограничивающей его поверхности F ( L V F/ x дятся в пределах 0,5 – 100 мкм и существенно отличаются от характерных размеров макросистем. <...> Управляющие воздействия на активную структуру элемента или узла сопровождаются, как правило, тепловыделениями, требующими последующего рассеяния. <...> Однако рост быстродействия активных структур приводит к уменьшению их размеров <...>