МАТЕРИАЛЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ ELECTRONIC ENGINEERING MATERIALS УДК 621.315.592.669 Получение наночастиц кремния для использования в солнечных элементах Б. <...> П.Н. Лебедева Российской академии наук (г. Москва) 5Институт общей физики им. <...> А.М. Прохорова Российской академии наук (г. Москва) 6Московский государственный университет им. <...> Dorofeev6 1Molecular Electronics Research Institute and Mikron Plant, Moscow 2Research Institute of Materials Science and Technology, Moscow 3National Research University of Electronic Technology, Moscow 4The Lebedev Physical Institute of the RAS, Moscow 5Prokhorov General Physics Institute of the RAS, Moscow 6Lomonosov Moscow State University Разработаны технологический процесс получения наночастиц кремния из монооксида кремния, позволяющий управлять размерами частиц в диапазоне 2–10 нм, а также методы нанесения покрытий из нанокремния на солнечные элементы. <...> Исследовано влияние таких покрытий на эффективность солнечных элементов. <...> Показано, что пленки из нанокремния характеризуются хорошими просветляющими и пассивирующими свойствами и могут успешно использоваться в технологии изготовления солнечных элементов. <...> The technological process for the production of silicon nanopparticles from silicon monoxide, which permits to control the particle size in the 2–10 nm Б.Г. Грибов, К.В. Зиновьев, О.Н. Калашник, Н.Н. Герасименко, Д.И. Смирнов, В.Н. Суханов, Н.Н. Кононов, С.Г. Дорофеев, 2016 316 Известия вузов. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 4 2016 Получение наночастиц кремния для использования в солнечных элементах range, and the methods of nanosilicon coating for solar cells have been developed. <...> It has been shown that the nanosilicon films are characterized by good anti-reflection and passivating properties and can be successfully used in the solar cell production technology. <...> В настоящее время применение наноструктурированных материалов в солнечной энергетике является одним из самых перспективных путей снижения стоимости солнечных элементов и повышения <...>