ХИМИЯ УДК 537.226 СИНтЕз И оПтИчЕСкИЕ СВойСтВа ПлЕНок СложНыХ окСИдоВ На оСНоВЕ олоВа И НИоБИЯ Н. Н. <...> На подложках монокристаллического кремния и кварца синтезированы пленки сложного оксида состава Sn2 пленочной системы Sn-NbO2 в вакууме и в потоке кислорода при Т =773 К. <...> Методом рОр определедующим термооксидированием и модифицированием оксида ниобия NbO2 Nb2 O7 . <...> Образцы получали магнетронным осаждением ниобия, послеоловом путем отжига ны концентрационные распределения компонентов в пленке, свидетельствующие о диффузионном проникновении олова в пленку оксида ниобия в процессе вакуумного отжига. <...> Методами рЭМ и АСМ установлено, что с увеличением температуры отжига происходит укрупнение кристаллитов при неизменно гладкой поверхности пленки со значением шероховатости ~ 10 нм. пленка оксида ниобия оптически более прозрачна, чем пленка после вакуумного отжига системы Sn-NbO2 зрачна, чем пленка сложного оксида Sn2 , и менее проОпределены значения энергий прямых переходов: 4.02 эВ для плёнки NbO2 основе оксида ниобия Nb2O5 Nb2 O7 ключевые слова: подложки монокристаллического кремния и кварца, прозрачные оксидные гексагональной модификации и сложного оксида состава Sn2 Nb2 O7 пленки, магнетронное осаждение, вакуумный отжиг, метод резерфордовского обратного рассеяния, концентрационные распределения компонентов, адсорбционная спектроскопия. synthesized. <...> Samples were prepared by dc magnetron sputtering of niobium films, further thermal oxidation of obtained Nb/Si systems and modification of niobium oxide NbO2 abstract. <...> Difficult oxide structure films Sn2 Nb2 O7 film systems obtained were annealed in a vacuum and a oxygen flux at a temperature of 773 K. <...> The data of this method testify about of diffusion penetration of stannum into a niobium oxide film in the course of vacuum annealing. <...> The niobium oxide film by optical is more transparent, than the film obtained after annealing in a vacuum of the systems Sn-NbO2 than a film of difficult oxide <...>