УДК 621.385.833 ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОСТРУКТУРЫ ТЕРМИЧЕСКИХ ОКСИДОВ НА АЛЮМИНИИ Т. Д. <...> Чернышова, М. В. Гречкина, Т. В. Шубина Воронежский государственный университет В работе рассматривается наноструктура термических оксидов, возникающих на поверхности алюминия с содержанием чистого металла 99,992 %. <...> Впервые получена морфология поверхности в виде кристалликов размером 40—60 нм, растущих из аморфной основы. <...> Проведена аналогия между сегрегационной субструктурой алюминия и ячеистой наноструктурой аморфного окисла. <...> ВВЕДЕНИЕ В данной работе рассматривается наноструктура термических оксидов, полученных при отжиге на поверхности алюминия марки А-992. <...> Предварительные электронографические и рентгенографические исследования показали, что оксид имеет частично аморфную структуру, а также содержит кристаллическую фазу g-Al2O3. <...> При рассмотрении поверхности на металлографическом микроскопе МИМ-8М при увеличениях более 500 на фоне окисла были видны «зародыши», которые меняли контраст в темном и светлом поле, что свидетельствует об их кристаллической природе; в дальнейшем будем называть их микрокристалликами. <...> РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТА И ВЫВОДЫ На сканирующем туннельном микроскопе были получены и проанализированы СТМизображения поверхности термических оксидов алюминия. <...> Для данного вида исследований термические оксиды получали по режимам, указанным в таблице. <...> Таблица Температура, o неотожженный 300 600 2006 Режимы отжига С Время, с — 60 60 На СТМ-изображениях различный цвет соответствует разным высотам и углублениям. <...> На основании литературных данных [1—3] можно сделать вывод, что это естественная аморфная пленка, возникающая на поверхности без предварительного отжига. <...> Эта структура мелкодисперсная, состоящая из мелких фрагментов, имеющих линейный размер в плоскости поверхности образца ~50 нм. <...> 1 б показано трехмерное изображение поверхности, которое дает возможность лучше рассмотреть рельеф и отдельные фрагменты окисла <...>