ВЕСТНИК ВГУ, Серия физика, математика, 2001, ¹ 2 УДК 541.538 МЕТОД КОНТРОЛЯ АДСОРБЦИИ НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ПО МИКРОВОЛНОВЫМ СПЕКТРАМ ОТРАЖЕНИЯ © 2001 г. А. М. Косцов, О. М. Косцова, М. Н. Левин Установлена высокая чувствительность спектров отражения микроволнового излучения к наличию адсорбированного слоя на отражающей поверхности твердого тела. <...> Показана возможность количественного контроля адсорбции на поверхности твердых тел по изменению коэффициента отражения в коротковолновом диапазоне 2637 ГГц. <...> Разработан измерительный комплекс для реализации предложенного способа. <...> Возможности метода продемонстрированы на примере адсорбции влаги поверхностью кристаллического кремния. <...> Для исследования влияния сорбционных свойств поверхности твердых тел представлялось целесообразным привлечение методов микроволновой спектроскопии, обладающих, как известно [3], высокой чувствительностью к вращательным и низкочастотным колебательным спектрам молекул в газовой фазе, в том числе к наличию и состоянию молекул воды в исследуемой среде. <...> Целью работы явилось выяснение возможности исследования сорбционных свойств поверхности твердых тел методами микроволновой спектроскопии в диапазоне крайне высоких частот (КВЧ). <...> ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА Для реализации метода был разработан измерительный комплекс, в состав которого входят измерительная волноводная ячейка с системой обдува образца воздухом с регули21 руемым уровнем влажности, колонка с осушителем воздуха, «водяная баня» для насыщения воздуха влагой и стандартный измеритель КСВН панорамный Р2-65 для определения коэффициента отражения микроволнового излучения. <...> Предусмотрена возможность задания влажности, температуры и расхода продуваемого воздуха через ячейку воздушного потока, а также обдув образца воздухом, насыщенным парами летучих химических соединений. <...> Предложено характеризовать адсорбционную способность поверхности изменением коэффициента <...>