№ 3 УДК 621.315.592:546.23:548.5 DOI: 10.17213/0321-2653-2015-3-103-107 ВЛИЯНИЕ АНИЗОТРОПИИ КРИСТАЛЛА НА ФОРМУ ДВИЖУЩЕГОСЯ В ГРАДИЕНТНОМ ПОЛЕ ЖИДКОГО ВКЛЮЧЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ СИНТЕЗА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ CRYSTAL ANISOTROPY INFLUENCE ON THE FORM OF THE LIQUID INCLUSION MOVING IN THE GRADIENT FIELD IN TECHNOLOGIES OF SYNTHESIS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS 2015 г. А.В. Благин, Л.В. Благина, С.В. Лозовский, А.В. Малибашев, Н.А. Нефедова Благин Анатолий Вячеславович – д-р физ.-мат. наук, профессор, зав. кафедрой «Физика», Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова, г. Новочеркасск, Россия. <...> Малибашев Александр Владимирович – канд. техн. наук, доцент, кафедра «Физика», Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова, г. Новочеркасск, Россия. <...> Blagin Anatoly Vyacheslavovich – Doctor of Physical and Mathematical Sciences, professor, head of department «Physics», Platov South-Russian State Polytechnic University (NPI), Novocherkassk, Russia. <...> Malibashev Alexandr Vladimirivich – Candidate of Technical Sciences, assistant professor, department «Physics», Platov South-Russian State Polytechnic University (NPI), Novocherkassk, Russia. <...> Обсуждаются результаты математического моделирования движения жидкого линейного включения в кристаллических структурах A3B5 в условиях зонной перекристаллизации градиентом температуры для различных режимов нормального механизма растворения и роста. <...> Модель учитывает анизотропию скоростей растворения и кристаллизации. <...> Равновесные формы сечения жидкого включения согласуются с аналогичными формами, полученными экспериментально для AsGa–Ga. <...> Показано, что зона приобретает выраженную огранку фронта растворения, в то время как фронт кристаллизации таковой не имеет. <...> В эксперименте наблюдалась траекторная нестабильность, обусловленная затруднённостью кинетических процессов на границе растворения. <...> Для технологического процесса получена область параметров успешного использования методики определения атомно-кинетических коэффициентов – при температурах процесса градиентной жидкофазной эпитаксии. <...> Ключевые слова: градиентная жидкофазная эпитаксия; анизотропия <...>