№ 2 УДК 548.523.001.57:621.315.592 DOI: 10.17213/0321-2653-2015-2-96-100 ТЕПЛО- И МАССОПЕРЕНОС В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ПРОЦЕССЕ ГРАДИЕНТНОЙ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЛИНЕЙНЫХ ЗОН HEAT AND MASS TRANSFER IN THE LIQUID PHASE EPITAXY GRADIENT USING LINEAR ZONES 2015 г. А.В. Благин, Л.В. Благина, А.В. Малибашев, Н.А. Нефедова Благин Анатолий Вячеславович – д-р физ.-мат. наук, профессор, зав. кафедрой «Физика», Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова, г. Новочеркасск, Россия. <...> E-mail: blagina_ larisa@mail.ru Малибашев Александр Владимирович – канд. техн. наук, доцент, кафедра «Физика», Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова, г. Новочеркасск, Россия. <...> Blagin Anatoly Vyacheslavovich – Doctor of Physical and Mathematical Sciences, professor, head of department «Physics», Platov South-Russian State Polytechnic University (NPI), Novocherkassk, Russia. <...> E-mail: bla_gin@mail.ru Blagina Larisa Vasilevna – Candidate of Technical Sciences, assistant professor, department «Natural-Science and Humanitarian Disciplines», Branch of the Don State Technical University, Volgodonsk, Russia. <...> Построена двумерная модель перекристаллизации твердой фазы ансамблем жидких линейных зон. <...> Модель основана на уравнениях теплопроводности, описывающих распределение теплового поля в кристалле и жидком включении, и уравнении массопереноса, описывающего непрерывный диффузионный поток вещества жидкого включения, смешанного с веществом кристалла. <...> Соответствие некоторых особенностей реального процесса, в частности, слияние линейных зон на финише их перемещения, говорит об адекватности построенной модели. <...> Указанные особенности интерпретированы как следствие траекторной нестабильности зон. <...> Геометрия зоны и температурный режим химико-технологического процесса выступают факторами, определяющими структуру растущих слоев. <...> Ключевые слова: градиентная жидкофазная эпитаксия; динамическая модель; термомиграция; ансамбль линейных зон. <...> Whether some of the features of the real process, in particular, the merger of linear zones at the finish of their movement, talks about the adequacy of the 96 ISSN 0321-2653 <...>