№ 4 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ЭЛЕМЕНТЫ УДК 538.93 СКОРОСТЬ ЭЛЕКТРОННО-СТИМУЛИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ КВАЗИОДНОМЕРНЫХ НАНОСТРУКТУР 2011 г. В.Н. Лозовский*, С.Н. Чеботарев**, В.А. Ирха* *Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт) **Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону *South-Russian State Technical University (Novocherkassk Polytechnic Institute) **Southern Federal University, Rostov-on-Don Разработана модель процесса электронно-стимулированного осаждения квазиодномерных наноструктур. <...> Получена общая формула для скорости роста углеродных нановискеров в зависимости от различных факторов. <...> С момента появления электронной микроскопии было замечено, что в зоне взаимодействия электронов с мишенью возникает осадок, загрязняющий ее поверхность [1]. <...> Дальнейшие исследования показали, что основной составляющей этого осадка является углерод, источником которого служат углеродосодержащие соединения, присутствующие в остаточной газовой среде вакуумной камеры электронного микроскопа. <...> Молекулы указанных соединений адсорбируются на поверхности мишени и под действием электронного луча превращаются в твердый углеродосодержащий осадок. <...> В малых количествах в этом осадке обнаруживаются кислород и водород, присутствующие в молекулах прекурсора; азот, имеющийся в окружающей атмосфере, в осадок не попадает [2]. <...> Так могут быть получены образования, содержащие металл, если он присутствует в молекулах прекурсора [3]. <...> Применение процесса ЭСО затруднено, в частности, отсутствием теории, достаточно полно учитывающей влияние различных факторов на воспроизводимость результатов. <...> Необходимы всесторонние исследования процесса ЭСО как метода получения нанообразований конкретного назначения с применением заданного газа-прекурсора и подложек. <...> В настоящей работе представлены результаты теоретического анализа и экспериментальных исследований кинетики выращивания квазиодномерных углеродных наноструктур <...>