ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ УДК 621.389 Высокоэффективные теплоотводы нового поколения для электронных изделий В. И. Стрелов, Ю. Н. Бендрышев, В. Г. Косушкин Исследована эффективность применения микронасосов с интегрально встроенной на системном диске схемой возбуждения. <...> В микронасосе используется электромеханический резонанс системы для активного (с обратной связью) охлаждения функционально насыщенных микроэлектронных устройств полупроводниковых приборов. <...> Показано, что такие микронасосы без дополнительных теплоотводящих материалов с очень малыми массогабаритными характеристиками и низкими энергетическими затратами можно располагать непосредственно на самом полупроводниковом кристалле вместе с микроэлектронным устройством. <...> При этом при охлаждении полупроводниковых приборов микроэлектроники существенно (в 4 раза) повышается эффективность их работы. <...> Обратная связь обеспечивает оптимальный температурный режим работы электронного изделия. <...> PACS: 85.85.+j; 44.24.+f, 44.27.+g Ключевые слова: микроэлектроника, микронасос, обратная связь, теплоотвод, радиоэлектронные изделия, схема возбуждения, система охлаждения, ультразвуковой вибратор. <...> Введение Основным недостатком наиболее распроПовышение степени интеграции микросхем и связанное с этим уменьшение размеров элементов, т.е. возрастание функциональной насыщенности микроэлектронных устройств, приводит к тому, что задача теплоотвода в электронных изделиях становится важнейшим фактором надёжного функционирования. <...> Повышенные температуры способствуют росту интенсивности отказов радиоэлементов, вызывают ускоренное старение конструкционных материалов. <...> По этой причине при разработке конструкций радиоэлектронных систем необходимо обеспечить хороший теплообмен аппарата с окружающей средой. <...> Е-mail: kosushkin@gmail.ru Статья поступила в редакцию 24 августа 2016 г. © Стрелов В. И., Бендрышев Ю. Н., Косушкин В. Г., 2016 странённых в настоящее время систем <...>