Вестник Нerald
Московского государственного
технического университета
имени Н.Э. Баумана
3 [108] 2016
Май — июнь
Серия «Приборостроение»
Научно-теоретический и прикладной журнал
Издается с 1990 г.
Выходит один раз в два месяца
of the Bauman
Moscow State
Technical University
3 [108] 2016
May — June
Series Instrument Engineering
Scientific-theoretical and applied-science journal
Published since 1990
Issued every two months
Журнал входит в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны
быть опубликованы основные научные результаты диссертаций на соискание
ученой степени кандидата наук, на соискание ученой степени доктора наук,
сформированный в соответствии с приказом Минобрнауки России от 25 июня
2014 г. № 793 (с изменениями, внесенными приказом Минобрнауки России от
3 июня 2015 г. № 560).
СОДЕРЖАНИЕ
Приборостроение, метрология и информационно-измерительные
приборы и системы
Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Карасик В.Е., Перчик А.В.,
Aрефьев А.П. Измерение распределения толщин многослойных пленочных
структур методами спектральной рефлектометрии ................................................. 3
Авиационная и ракетно-космическая техника
Кичигин А.А., Шахтарин Б.И. Алгоритм обработки сигнала
в автономном устройстве фиксации высоты ........................................................... 13
Воронов Е.М., Серов В.А., Клишин М.А., Любавский К.К.,
Савчук А.М. Многокритериальный синтез законов траекторной адаптации
параметров трехканальной системы стабилизации беспилотного летательного
аппарата ............................................................................................................. 24
Радиотехника и связь
Анженко А.А., Бонч-Бруевич А.М., Гуменный К.А., Сычев М.П.
Перспективный метод обнаружения апериодических импульсных сигналов
побочных электромагнитных излучений ................................................................ 42
Физика
Судаков В.Ф. Частотная характеристика кольцевого лазера со знакопеременной
частотной подставкой .................................................................................. 51
Информатика, вычислительная техника и управление
Девятков В.В. Верификация свойств интеллектуальных интерфейсов
в логике тайлов .......................................................................................................... 65
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2016. № 3
1
Стр.1
Симоньянц Р.П. Квантово-механическая модель динамики релейноимпульсного
управления ........................................................................................ 88
Лобусов Е.С., Тыонг Хоанг Мань. Генерирование случайных воздействий
при исследовании устройств и систем управления .............................................. 102
Иванов Д.Е., Громова Т.В., Швецова-Шиловская Т.Н. Автоматизированный
анализ контролепригодности систем контроля технологического оборудования
на опасных производственных объектах ................................................ 114
Бойченко М.К., Иванов И.П., Кондратьев А.Ю. Функциональная модель
ненагруженных Ethernet-коммутаторов ................................................................ 129
CONTENTS
Instrument Engineering, Metrology, Information-Measuring Instruments
and Systems
Tsepulin V.G., Tolstoguzov V.L., Karasik V.E., Perchik A.V., Arefev A.P.
Тhickness Distribution Measurement of Multilayer Film Structures by Spectral
Reflectometry Methods ............................................................................................. 3
Aviation, Rocket and Space Engineering
Kichigin A.A., Shakhtarin B.I. Signal Processing Algorithm in Autonomous
System of Altitude Fixation ....................................................................................... 13
Voronov E.M., Serov V.A., Klishin M.A., Lyubavskiy K.K., Savchuk A.M.
Multicriteria Synthesis of Trajectory Adaptation Rules for the Three Channel
Stabilization System Parameters of Unmanned Aircraft ........................................... 24
Radio Engineering
Anzhenko А.А., Bonch-Bruevich А.М., Gumennyy K.А., Sychev М.P.
Promising Method for Detecting Aperiodic Pulsed Signals of Extraneous
Electromagnetic Radiation ........................................................................................ 42
Physics
Sudakov F.V. Frequency Response of a Ring Laser with an Alternating
Frequency Pedestal .................................................................................................... 51
Informatics, Computer Engineering and Control
Devyatkov V.V. Verification of Intelligent Interface Properties in the Tiles
Logic .......................................................................................................................... 65
Simonyants R.P. Quantum-Mechanical Model of the Relay and Pulse Control
Dynamics ................................................................................................................... 88
Lobusov E.S., Tuong Hoang Manh. Generation of Random Signals in Control
Units and Systems Research ...................................................................................... 102
Ivanov D.E., Gromova T.V., Shvetsova-Shilovskaya T.N. Automated
Controllability Analysis of Technological Equipment Control Systems
on Dangerous Production Facilities ........................................................................... 114
Boychenko M.K., Ivanov I.P., Kondratev A.Yu. Functional Model of Unloaded
Ethernet-Switches ...................................................................................................... 129
2
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2016. № 3
Стр.2
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, МЕТРОЛОГИЯ
И ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ
ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ
DOI: 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12
УДК 534:535
Измерение распределения толщин многослойных
пленочных структур методами спектральной
рефлектометрии
В.Г. Цепулин, В.Л. Толстогузов, В.Е. Карасик,
А.В. Перчик, А.П. Aрефьев
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация
e-mail: v.tsepulin@bmstu.ru
Рассмотрен спектральный метод измерения распределения толщин слоев многослойных
пленочных структур, предложены методы калибровки измерительной
установки и фильтрации полученных решений. Указанные методы проверены
экспериментально с помощью собранного гиперспектрального микроскопа
на основе двойного акусто-оптического видеомонохроматора. Приведен анализ
результатов измерения толщины двухслойной пленочной структуры из диоксида
кремния (SiO2) и полиметилметакрилата на кремниевой подложке.
Ключевые слова: многослойные пленочные структуры, рефлектометрия, профилометрия,
акусто-оптический фильтр, тонкие пленки.
Thickness Distribution Measurement
of Multilayer Film Structures by Spectral
Reflectometry Methods
V.G. Tsepulin, V.L. Tolstoguzov, V.E. Karasik, A.V. Perchik,
A.P. Arefev
Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
e-mail: v.tsepulin@bmstu.ru
We examine the spectral method of measurement of multilayer film structures layers
thickness distribution. Moreover, we propose a method of the measurement unit calibration
and a method of filtering the obtained solutions. The methods mentioned are
validated experimentally by means of the assembled hyperspectral microscope based
on the dual acousto-optical videomonochromator. We analyse the thickness measurement
results of the two-layer silicon dioxide (SiO2) film structure and polymethylmethacrylate
structure on silicon substrate.
Keywords: multilayer film structures, reflectometry, profilometry, acousto-optical filter,
thin films.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2016. № 3
3
Стр.3