Микроэлектроника Технологические особенности производства устройств радиочастотной идентификации В статье рассматривается процесс производства меток радиочастотной идентификации (RFID), включающий несколько технологических этапов, каждый из которых имеет свои особенности. <...> Устройство RFID-метки етки радиочастотной идентификации (RFID) активно используются во всем мире в качестве альтернативы штрихи бар-кодам благодаря большей дальности регистрации, возможности перезаписи, значительному объему хранения данных и удобству считывания. <...> Большинство RFID-меток состоит из приемопередающей антенны и микрочипа (кристалла ИС) для хранения и обработки информации, модулирования и демодулирования радиочастотного сигнала и других функций (рис. <...> Антенна RFID-метки и особенности, обусловливающие необходимость подбора специализированного оборудования для их автоматизации. <...> Типовой процесс изготовления плоской приемо-передающей антенны требует нанесения тонкого слоя металла (например, меди или алюминия) на изолирующую подложку с последующим его химическим травлением для получения нужного рисунка. <...> Поэтому в последнее время для получения антенн RFID-меток все чаще используют технологию печати (трафаретной, струйной, флексографической) для нанесения подслоя проводящей пасты в сочетании с последующим гальваническим осаждением меди на него. <...> Данный процесс не предполагает травления лишнего материала, так как на подложку сразу наносится нужное количество пасты в форме рисунка антенны, а поверх него осаждается необходимое количество меди. <...> Гальваническое меднение рисунка, предварительно сформированного из пасты, является наиболее экономически выгодным методом получения антенн меток радиочастотной идентификации. <...> Плоские антенны, как правило, имеют рисунок в виде спирали или петли (рис. <...> Для нанесения тонкого слоя проводящей пасты на гибкую подложку по спирали удобно использовать струйный метод печати <...>