Естественные и технические науки, № 6, 2013 Одиноков С.Б., доктор технических наук, профессор, доцент Сагателян Г.Р., доктор технических наук, профессор Колючкин В.В., аспирант Соломашенко А.Б., аспирант (Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана) СОЗДАНИЕ ФАЗОВЫХ ГОЛОГРАММНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ1 Статья посвящена способу получения и тиражирования фазовых голограммных и дифракционных оптических элементов с использованием метода контактной фотолитографии. <...> CREATION OF PHASE HOLOGRAPHIC OPTICAL ELEMENTS BY CONTACT PHOTOLITHOGRAPHY The article is devoted to method of production and replication phase holographic optical elements using the contact photolithography. <...> Одним из наиболее значимых практических приложений современной плоской оптики является разработка голограммных оптических элементов (ГОЭ) с бинарным и многоуровневым поверхностным рельефом, получаемых методами лазерной литографии и электроннолучевой литографии, а также создание на их базе приборов и устройств. <...> Технологический процесс изготовления амплитудных ГОЭ идентичен технологии изготовления фотошаблонов (ФШ) интегральных микросхем (ИМС) [1] и обычно включает следующие этапы: нанесение на стеклянную полированную пластину металлорезистивного слоя, например тонкопленочного хрома; нанесение электронного резиста и получение ГОЭ методом электронно-лучевой литографии. <...> Для создания фазового ГОЭ изготовленный описанным способом амплитудный ГОЭ можно использовать в качестве промежуточной заготовки, произведя операцию плазмохимического травления (ПХТ) с использованием непрозрачных, покрытых хромом участков в качестве маски [2]. <...> Изготовление амплитудных и фазовых ГОЭ описанным способом характеризуется высокой себестоимостью вследствие того, что все затраты на электронно-лучевую литографию ложатся на единственную групповую заготовку ГОЭ [3, 4]. <...> Важной задачей при этом является отработка технологии контактной фотолитографии для возможности тиражирования <...>