Приборостроение и биотехнические системы УДК 681.5.08 Э.И. СЕМЕНОВ, В.Д. ЧЕРНИКОВ ЭЛЕКТРОННО-ЭМИССИОННЫЕ ДАТЧИКИ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ ВЕЩЕСТВ ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОМ ИСПАРЕНИИ В статье описаны существующий электронно-эмиссионный метод контроля скорости осаждения веществ из паровой фазы при электронно-лучевом испарении в вакууме и датчики на его основе. <...> Предлагается усовершенствование электронно-эмиссионного датчика путем применения магнетронного эффекта. <...> Article describes being electron impact emission spectroscopy method for electron-beam vapor deposition rate monitoring in vacuum chamber and sensors based it are described. <...> There offers electron impact emission spectroscopy sensors improvement based on applying of magnetron effect. <...> Key words: electron-beam evaporation, electron impact emission spectroscopy sensor (EIES sensor), magnetron phenomenon, deposition rate. <...> Существующие в отечественной промышленности ионизационный и кварцево-резонаторный методы контроля толщины и скорости осаждения защитных покрытий и тонких пленок позволяют вычислять только общую скорость осаждения или массу переносимого к подложке вещества, без оперативного определения состава паровой фазы. <...> Для контроля скоростей нескольких компонентов при многокомпонентном испарении применяют системы контроля на основе масс-спектроскопии, атомной абсорбции и электронно-эмиссионной спектроскопии [1]. <...> В данной статье рассмотрены существующие методы электронно-эмиссионной спектроскопии: при возбуждении электронным ударом с использованием электронов низкой энергии (EIES – Electron Impact Emission Spectroscopy) и метод с применением магнетронного разряда (Cold Cathode discharge induced Emission Spectroscopy, сокращенно CCES). <...> Описаны датчики на их основе и предложено усовершенствование электронно-эмиссионного метода. <...> ЭЛЕКТРОННО-ЭМИССИОННЫЙ МЕТОД EIES Метод электронно-эмиссионной спектроскопии при возбуждении электронным ударом с использованием электронов низкой энергии заключается в возбуждении оптической эмиссии атомов парового потока электронами, эмитируемыми с вольфрамового катода, и дальнейшем определении скорости осаждения вещества <...>