Естественные и технические науки, № 6, 2015 Технология приборостроения Сагателян Г.Р., доктор технических наук, профессор Демидов П.С. <...> Шишлов А.В., аспирант (Московский государственный технический университет им. <...> Н.Э. Баумана) РАСЧЕТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ ПРИ МАГНЕТРОННОМ НАПЫЛЕНИИ Рассмотрена задача расчета распределения покрытий методом магнетронного напыления. <...> Создана компьютерная программа для расчета распределения слоя и равномерности его нанесения. <...> CALCULATION OF THE COATING DISTRIBUTION BY MAGNETRON SPUTTERING The problem of calculation the coating distribution by magnetron sputtering is considered. <...> Целью выполнения операции нанесения покрытий методом магнетронного напыления является не только получение тонкой пленки, но также и обеспечение равномерности её толщины по подвергаемой напылению поверхности подложки. <...> Для анализа неравномерности распределения толщины покрытия рассмотрена дуальная магнетронная распылительная система, состоящая из двух расположенных рядом под некоторым углом друг к другу магнетронов [1, 2]. <...> Магнетроны оснащаются мишенями, которые могут быть выполнены из различных материалов, что позволяет формировать сфокусированные на изделии потоки атомов и ионов тех материалов, из которых формируется покрытие. <...> Данная система снабжена механизмом карусели для обеспечения планетарного движения подложки, что позволяет варьировать кинематические факторы процесса. <...> По закону Ламберта-Кнудсена, скорость роста толщины покрытия определяется величиной в произвольной точке A поверхности детали [3, 4]: – коэффициент пропорциональности, зависящий от размеров частиц напыляемого материала и стехиометрии формируемого покрытия, мкм ·мм2/частицу, , где ξ ∙ ρ ∙cosφ∙cos ε, пыляемой поверхности мишени, мм, φ – угол направленности, соответствующий рассматриваемой точке A (угол распыления), ε – угол падения для точки A (угол конденсации). найти скорость нанесения покрытия ξ. <...> Выполняя расчет для различных точек напыляемой поверхности <...>