Естественные и технические науки, № 2, 2014 Салеев Д.В., аспирант Воронежского института высоких технологий ВЫБОР ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО РЕШЕНИЯ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ НОВОЙ СЕРИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Рассматриваются вопросы проектирования технологического маршрута при производстве новых серий интегральных схем. <...> Разрабатывается алгоритм выбора технологических решений с учетом недостатка информации и неопределенности в оценках критериев качества производимой продукции. <...> SELECTION OF TECHNOLOGICAL SOLUTIONS IN THE PRODUCTION OF A NEW TYPE OF INTEGRATED CIRCUITS The problems of designing technological route in the production of new series of integrated circuits are defined. <...> Key words: production flow engineering design, integrated circuits, quality criteria. <...> В современной микроэлектронике наблюдается тенденция изготовления интегральных схем под конкретные цели и задачи, в связи с чем происходит снижение количества заказов на производство микросхем крупными партиями. <...> При изготовлении новой серии или типа интегральных схем, лицо, принимающее решения (ЛПР) сталкивается с рядом неопределенностей [1]. <...> Например, необходимо оценить возможности производства данной серии на имеющемся оборудовании, а также предварительно определить ожидаемый процент выхода годных [2]. <...> Фактически требуется принять технологическое решение на основе некоторых требований, при существовании нескольких альтернативных вариантов (альтернатив) с учетом требований технического задания [3]. <...> Целью настоящей статьи является разработка алгоритма выбора технологического оборудования при производстве интегральных схем в условиях наличия нескольких альтернатив с учетом имеющихся у ЛПР неопределенности в оценках критериев качества, позволяющего выбрать альтернативу, которая максимально приближает к «идеальному значению» (т.е. к некоторой «идеальной точке») при наличии неопределенности [4]. <...> Пусть имеется некоторое число альтернатив n для выбора метода выполнения определенной технологической операции или выбора конкретного оборудования (установки), из которых <...>