024-031 Б. В. Артемьев, А. Е. Шубочкин (ЗАО «НИИИН МНПО «Спектр», Москва) E-mail: boris@artemiev.su РЕНТГЕНОВСКАЯ ТОЛЩИНОМЕТРИЯ Рассмотрены физические принципы построения рентгеновских толщиномеров для металлов с произвольным значением эффективного атомного номера. <...> Приведены расчетные и экспериментальные зависимости измерительного сигнала от энергии излучения, толщины контролируемого объекта с учетом поправки на химический состав материала. <...> Даны блок-схема и алгоритм работы рентгеновского толщиномера РИТ10-6. <...> Подробно описаны процесс калибровки приборов, система диагностики и сбора статистики о сбоях и отказах интегрированная в состав РТ. <...> Приведен паспорт рулона, содержащий информацию о разнотолщинности, дате и времени выпуска, длине рулона, номере цеха и бригады, изготовившей данный прокат, формируемый по окончанию процесса проката. <...> Shubochkin (Closed Joint-Stock Company "Research Institute of Introscopy of MSIA "Spectrum", Moscow) RESEARCH AND DEVELOPMENT OF X-RAY THICKNESS GAUGES, METHODS OF CONTROL AND MEASUREMENT ASSURANCE The article discusses the physical principles of X-ray thickness gauges for metals with an arbitrary value of the effective atomic number. <...> The calculated and experimental measurement signal depends on the energy of the radiation, the thickness of the test object with a correction for the chemical composition of the material. <...> Given a block diagram of the algorithm of the X-ray thickness gauge RIT10-6. <...> Принципиальное отличие рентгеновских измерителей толщины от всех прочих методов измерения толщины и от контактных методов измерения, Рис. <...> Схемы измерения толщины: а – двусторонний доступ к объекту; б – односторонний доступ к объекту; 1 – источник; 2 – детектор; 3 – свинцовый экран; 4 – подложка; 5 – напыленная пленка 24 заключается в том, что измеряются не реальные размеры, изменяющиеся при изменении температуры, а количество атомных слоев [1, 4], сквозь которые проходит пучок зондирующего излучения (обычно по нормали к плоскости контролируемого объекта) (рис. <...> Существуют два подхода измерения толщины [2, 3]: измерение ослабления прошедшего сквозь объект излучения <...>