Конструирование, расчеты, материалы УДК 669.71.884:620.181 Н.В. УЧЕВАТКИНА ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ИМПЛАНТИРОВАННЫХ СЛОЯХ ТИТАНОВОГО СПЛАВА ВТ6 ПРИ МНОГОЭЛЕМЕНТНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ Анализируются результаты экспериментального измерения уровня остаточных напряжений в поверхностном слое титанового сплава ВТ6 после ионной имплантации с использованием полиионных пучков. <...> Ключевые слова: ионная имплантация, титановые сплавы, многоэлементные ионные пучки, механические напряжения. <...> В процессе ионной имплантации в мишени происходит образование и взаимодействие различных дефектов кристаллической решетки, накопление имплантируемых атомов, образование новых фаз и распыление. <...> Совокупность этих эффектов приводит к возникновению в мишени внутренних напряжений. <...> Поскольку в имплантированном слое имеют место как стационарные явления (дефекты, примеси, фазы), так и динамические, которые релаксируют после прекращения имплантации (релаксация и отжиг радиационных дефектов, образование и диссоциация новых фаз, распыление мишени), то внутренние напряжения также можно условно разделить на динамические, или пространственно−временные (существующие в процессе имплантации), и статические, или остаточные (сохраняющиеся после имплантации). <...> В случае аморфизации разупорядоченные области перекрываются, в результате чего механические напряжения между ними релаксируют. <...> Перемещение дефектов (как баллистическое, так и диффузионное) вызывает перемещение атомов мишени. <...> В сплаве атомные потоки, связанные с потоком междоузельных атомов, будут избирательно переносить определенные элементы сплава, если только междоузельный поток не вовлечет в процесс переноса атомы всех элементов в соотношении, отвечающем их атомной концентрации. <...> Следует заметить, что даже незначительное преимущественное участие одного или более элементов сплава в междоузельном потоке может привести к появлению несоразмерных результирующих <...>