ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДК 533.9.082.74 Электронно-лучевое испарение бора для ионно-плазменного синтеза покрытий в форвакуумной области давлений Ю. Г. Юшков, А. В. Тюньков, Д. Б. Золотухин, Е. М. Окс Показана возможность получения ионов бора в плазме, создаваемой электронным пучком форвакуумного плазменного источника. <...> Генерация ионов бора осуществлялась в результате электронно-лучевого испарении бора с последующей ионизацией атомов бора этим же пучком ускоренных электронов. <...> Приведены результаты измерения состава пучковой плазмы, полученные с применением модифицированного квадрупольного масс-спектрометра RGA–100. <...> Масс-спектры ионов плазмы при испарении бора демонстрируют появление однозарядных ионов бора, доля которых росла с увеличением плотности мощности пучка. <...> Элементный состав покрытия, осажденного на титановую подложку, показывает присутствие доли атомов бора порядка 30—35 % ат. <...> Постоянство элементного состава покрытия по его толщине свидетельствует о стабильности и равномерности процесса его нанесения. <...> Фотография поверхности титанового образца с осажденным покрытием демонстрирует наличие гладкого сплошного поликристаллического слоя с плоской поверхностью. <...> Результаты свидетельствует об успешном применении форвакуумного электронного источника для испарения бора и осаждения однородного борсодержащего покрытия. <...> Ds Ключевые слова: ионы бора, электронно-лучевое испарение, плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений, масс-зарядовый состав ионов плазмы. <...> Борирование представляет собой процесс диффузионного насыщения поверхности металлов и сплавов бором, приводящий к упрочнению поверхностных свойств этих материалов, обеспечивающего снижение износа и повышение коррозионной стойкости [1]. <...> E-mail: yuyushkov@gmail.com Статья поступила в редакцию 20 июня 2016 г. © Юшков Ю. Г., Тюньков А. В., Золотухин Д. Б., Окс Е. М., 2016 По сравнению с другими методами насыщения поверхности <...>