ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПРОЗРАЧНЫХ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК ОКСИКАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ (300,00 руб.)

Первый автор	Плеханов
Авторы	Фаинер Н.И., Румянцев Ю.М., Юшина И.В., Рахманова М.И.
Страниц	8

ID	467099
Аннотация	Полученные плазмохимическим осаждением из газовой смеси 1,1,3,3-тстрамстилдиси-лазана с кислородом и азотом (ТМДС+O2+xN2) в температурном интервале 373—973 К.
УДК	547.245:541.64

ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПРОЗРАЧНЫХ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК ОКСИКАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ / А.Г. Плеханов [и др.] // Журнал структурной химии .— 2016 .— №6 .— С. 159-166 .— URL: https://rucont.ru/efd/467099 (дата обращения: 23.04.2024)